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半导体制造中的材料角色大揭秘 1. 二氧化硅 (Oxide) - 用作绝缘层,隔离电子元件,同时也是栅极氧化层的重要部分。 氮化硅 (Nitride) - 作为钝化层,保护器件免受污染,并作为电容器电介质。 多晶硅 (Poly) 砭 用于制造晶体管和存储单元中的栅极电极。 氮氧化硅 (SiON) - 作为栅极介质层,有助于改善器件性能。 掺杂半导体材料 (Carbon) 🠭 形成p型或n型半导体区域。 氮化钛 (TiN) 頭 作为导电层和扩散阻挡层,用于电极互连。 钨 (W) - 用于制造晶体管中的源极和漏极,以及作为互连金属。 铜 (Cu) ️ - 用于互连布线,因其低电阻率和高导电性,有助于提高芯片速度和降低功耗。 硼磷硅玻璃 (BPSG) ️ - 作为掺杂了硼和磷的二氧化硅,用于提高硅片表面的平坦化。 原子层化学气相沉积 (ALD) 쯸 - 一种制备BPSG薄膜的常见方法,包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和次大气压化学气相沉积(SACVD),有助于提高BPSG薄膜性能。 低k介电材料 - 主要用于降低集成电路的漏电电流、减少导线之间的电容效应,以及降低集成电路的发热。 单孔SiLK与多孔MSQ - 通过在SiLK和MSQ中添加纳米级空洞,可以进一步降低介电常数。 CMP工艺的抛光垫材料 (ACL) - ACL-1810是一种特定的抛光树脂,用于硅芯片(如集成电路)的生产过程中,以获得光滑、平整的表面。
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